技术编号:14078129
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对用于引导被处理杯接收的药液的回收配管进行清洗的回收配管清洗方法以及实施这种回收配管清洗方法的基板处理装置。在作为处理对象的基板中,例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示用基板、FED(Field Emission Display:场致发射显示装置)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。背景技术在现有的美国公开专利No.2008/142051A1公报中,公开了一种对基板一张一张地进行处理的单张式基板处理装置。基板处理装置的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。