技术编号:1407861
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造,具体地说是涉及一种半导体晶块自动清扫直O背景技术在半导体产品的生产过程中,要求产品比较卫生,生产中经常要对现对晶块清扫, 在产品比较多的情况下,清扫是一件比较麻烦的事情,在现有技术中,还没有专门的对半导 体晶块进行清扫的设备,使用人力比较困难、费时费力。发明内容本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种结构简单、省时省力、清扫效果好 的半导体晶块自动清扫装置。本使用新型所采取的技术方案是半导体晶块自动清扫装置,包括装置本体,其特 ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。