一种高密度BGA封装基板的平整度检测装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14092351

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本实用新型涉及高密度BGA封装基板技术领域,特别涉及一种高密度BGA封装基板的平整度检测装置。背景技术90年代随着集成技术的进步、设备的改进和深亚微米技术的使用,LSI、VLSI、ULSI相继出现,硅单芯片集成度不断提高,对集成电路封装要求更加严格,I/O引脚数急剧增加,功耗也随之增大。为满足发展的需要,在原有封装品种基础上,又增添了新的品种——球栅阵列封装,简称BGA。采用BGA技术封装的内存,可以使内存在体积不变的情况下内存容量提高两到三倍,BGA与TSOP相比,具有更小的体积,更好的散热性...
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