技术编号:1409650
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洗机辅助装置。 背景技术原有的清洗机对圆片的保护是通过真空的吸附力使圆片不会在旋转的过程中被 甩出去,但实际应用过程中,圆片还是会因为收到底盘真空度,以及摆放圆片位置等的影响 而产生真空无法完全能吸得住,最终还是会有圆片被甩出去的的情况发生。原来等设备真 空报警的时候,实际这时圆片已经被甩出去了,异常已经发生。发明内容本实用新型的目的在于提供一种结构合理,使圆片在整个清洗的过程中受到保 护,同时还不影响原有的真空吸附功能的清洗机圆片保护...
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