技术编号:1410542
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在精密设备的制造工序中使用的除尘装置以及除尘方法。背景技术 以往,在制造精密设备的零件的工序中,使用有用于对零件吹送压缩空气,从而除去附着在各零件上的尘埃等异物的除尘装置(例如,专利文献1)。专利文献1特开2005-199169号公报但是,存在以下问题,即如果只是简单地对零件吹送压缩空气,有时候从零件除去的尘埃在除尘装置内飞舞并再次附着在零件上。发明内容因此,本发明的目的在于提供能够可靠地防止从零件除去的尘埃再次附着在零件上的除尘装置以及除尘方法...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。