技术编号:14112877
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关申请本申请要求2017年5月3日提交的美国专利申请第15/585,540号的优先权,该案是2016年9月30日提交的美国专利申请第15/283,120号的部分连续案,其各自的整体公开内容出于所有目的以引用的方式并入本文中。技术领域本申请大致涉及关于半导体加工设备的系统和方法并且具体来说是用于化学气相传递的汽化系统。相关技术说明一种典型的固体或液体源反应物传递系统包括固体或液体源容器和加热装置(例如,辐射热灯、电阻加热器等)。容器包括固体(例如,呈粉末形式)或液体源前体。加热装置加热容器以使容...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。