技术编号：14115752
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微通道加工领域，特别是涉及一种三维异形微通道加工装置。背景技术微通道技术广泛应用于生物、医疗、化学及微流体系统等领域，在细胞培养、药物筛选、基因检测以及化学实验等方面的应用日渐成熟。如何能够快速精确有效加工出特征尺寸极小的三维异形微通道，在微通道技术中具有非常实际的意义，现有技术中，光刻和金属辅助化学刻蚀是微通道最主要的制造方法。所谓光刻，即首先要在基片表面覆盖一层薄膜，然后在薄膜表面用甩胶机均匀地覆盖上一层光胶，将掩膜上芯片设计图案通过曝光成像的原理转移到光胶层的工艺过程，如附图...
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