技术编号：14116965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石墨烯加工制造领域，尤其涉及一种其上生长有石墨烯的金属基底刻蚀的设备和方法。背景技术在制造石墨烯薄膜的过程中，首先需要在金属基底上生长石墨烯薄膜，然后将生长有石墨烯薄膜的金属基底手动地浸入到刻蚀药水中，以将金属基底刻蚀掉，留下石墨烯薄膜。这种手动操作方式存在以下缺陷。第一点是手动操作比较频繁，上料是由人员手动套在玻纤框架上，然后再放入花篮里，再由机械手将花篮放入刻蚀药水中一定的时间，再从刻蚀药水中提出来，然后再放入水洗槽一定的时间，再从水洗槽中提出来，然后再人工手动清洗，再放入水平...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。