技术编号：14118209
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体气敏元件技术领域，特别涉及一种钯修饰二氧化钛纳米管阵列肖特基结氢敏传感器及其制备方法。背景技术氢气是一种重要的能源材料，在生产生活中具有广泛的应用。但氢气是易燃易爆气体，在使用和储存场合对其进行及时地检测和监控，是非常必要的。目前使用的氢气传感器主要有固态电解质传感器，催化传感器和半导体氧化物传感器。其中，二氧化钛作为一种常用的半导体材料，在对氢气等还原性气体的检测方面受到广泛的关注。二氧化钛纳米管以其较大的比表面积和尺寸效应，有很大的应用前景。Grimes等(J.Mater.R...
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