技术编号:14127391
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强型化学气相沉积法)板式炉碳纤维载板技术领域,特别是涉及一种漏斗型Pocket(口袋)结构的载板。背景技术目前,碳纤维载板是一种在PECVD板式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片,表面采用等离子体增强型化学气相沉积法进行镀膜的承载工具。现有的典型的高效电池需要镀双面膜,即电池片的正面和反面均要进行一次镀膜工艺,这对承载电池片镀膜的载板提出了更高的要求,因为传统的承...
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