一种薄膜晶体管及显示装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14127447

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本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种薄膜晶体管及显示装置。背景技术目前薄膜晶体管已广泛应用于液晶显示技术、有机电致发光显示技术以及集成电路等方面,例如作为有源阵列显示装置中像素单元的开关,或者所为阵列基板行驱动的基本单元,形成栅极驱动电路。通过薄膜晶体管制备的显示装置,工艺流程更简单,面板的集成度更高,因此,薄膜晶体管在平板显示技术中发挥重要的作用。本实用新型的发明人在长期的研发中发现,薄膜晶体管一般采用透明的玻璃作为基板,氮化硅或氧化硅材料作为栅绝缘层,有源层设置在基板或栅绝缘层上,由于玻...
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