技术编号：14130398
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种压力传感器及其制造方法。背景技术MEMS(微电子机械系统)技术是近年来快速发展的一项高新技术，它采用先进的半导体制造工艺，可实现MEMS器件的批量制造，与对应的传统器件相比，MEMS器件在体积、功耗、重量及价格方面有相当的优势。压力传感器是MEMS中最早出现及应用的产品之一，被广泛用于消费电子、医疗领域、汽车电子等领域，如电子血压计、胎压计、高度计、天气预报计、汽车进气歧管传感器等等。依工作原理可分为压阻式、电容式及压电式等几种。其中，压阻式压力传感器具...
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