激光器芯片失效定位分析样品制备方法及中间件与流程技术资料下载

技术编号:14135054

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本发明涉及一种样品制备方法及中间件,属于光通信技术领域,具体是涉及一种激光器芯片失效定位分析样品制备方法及中间件。背景技术有源光器件是光纤通信的基础,随着光纤通信系统的发展和广泛应用,人们对有源光器件的质量和可靠性要求越来越高。半导体激光器芯片作为有源光器件的核心组成部分,其质量和可靠性要求也更严苛,对芯片失效样品的分析也逐渐深入到材料层级,半导体激光器芯片尺寸极小,在百um 量级,材料特性又易碎,这就需要对失效的芯片样品在百um量级尺度下进行制样,并注意保护样品。这样才能开展后续的缺陷定位分析...
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