技术编号：14135412
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学调制器领域，具体是涉及一种石墨烯铌酸锂多层结构混合集成光学调制器及其制备方法。背景技术在光电子集成电路中，光学调制器是最重要的集成器件之一，它将电信号转换成高码率的光数据。光学调制器是利用材料具有热光效应、电光效应、磁光效应、电吸收效应，来调制光的相位、振幅、偏振。通常设计的器件类型有马赫—曾德尔干涉仪、环谐振器、锗基电吸收调制器，但都存在很多缺点，如：调制效率不高、响应速率慢、操作带宽小、温度敏感、体积大等。铌酸锂材料具有很高的电光系数，基于这一特性，可用于调制光的某些特性，例如...
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