技术编号:14135713
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种使用氧化物半导体的半导体装置。注意,在本说明书中半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置,因此如液晶显示装置等电光装置、半导体电路以及电子设备都是半导体装置。背景技术近年来,通过利用形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体薄膜(膜厚度为大约几nm至几百nm)来构成薄膜晶体管(TFT)的技术引人注目。薄膜晶体管广泛地应用于电子装置如集成电路(Integrated Circuit:略号为IC)或电光装置,尤其是目前正在加快开发作为图像显示装置的开关元件的薄膜晶体管。金属氧...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。