技术编号:1414478
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及空气集尘装置,尤其涉及利用空气去除基板等工件表面的尘埃的空气集尘装置。背景技术在太阳能电池等的层叠基板中,在玻璃基板上层叠了金属膜和半导体膜等薄膜。 并且,在这些薄膜中形成有绝缘处理用的多个分离槽。该分离槽利用采用激光的激光头或采用钻石等的刀尖的机械工具而形成。当在如上所述的薄膜上形成槽时,被去除的膜的一部分作为尘埃等异物附着在基板上。这种异物成为不合格品的原因,所以需要从基板上去除。以往,作为去除这种基板上的尘埃等异物的装置,例如提供了专利文献...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。