技术编号：14163778
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术各种化学和物理过程可以用于将材料沉积在衬底上。一些沉积过程依赖于图案化沉积，其中掩模或其他机制用于在精确的容差内创建纳米级特征，例如匹配诸如晶体管路径宽度的电子纳米级结构的尺寸，而其他沉积过程提供相对无特征的、大尺度沉积，诸如横跨几十微米距离或更大距离的基于覆盖层(blanket)的涂敷或沉积。存在对于其而言现有过程是次优的一类建造应用。更具体地，对于其中人们期望将层形成在相对于纳米级特征的衬底的大的区上的应用，尤其是对于有机材料沉积，可能难以控制沉积的层的均匀性。附图说明图1A是示出公...
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