技术编号:14173389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS压力传感器制造技术,尤其是一种用于负压测量的MEMS充油压力传感器。背景技术微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等。如公开号为CN204128731U的中国公开专利文件公开的一种MEMS充油压力传感器,包括压力芯片和设置在有空腔的金属基座,金属基座设有向内径方向延伸的凸台,凸台上设置双层电路板,压力芯片只有腔体内并粘接在双层电路板上,腔体内充满硅油。如该专利文件公开的MEMS充油压力传感器,...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。