探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法技术资料下载

技术编号:1417602

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本发明是关于一种。背景技术如图1所示,在公知的发光二极管点测程序中,探针在使用一段时间之后往往会 在其表面上残留灰尘或污染物等微粒,这些微粒可能会影响点测的可靠度。因此,操作者必 须定期将探针拆下并利用人工进行清洁,此种人工清洁方式虽然可使探针恢复清洁,但必 须是在此点测设备停机的情况下才可进行,再者由于此人工清洁方式相当耗费时间,所以 势必会降低产能。如TW200935063揭露一种探针清洁装置,其是利用毛刷来进行探针清洁 作业,然而,毛刷清针的方向只会...
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