技术编号:14185509
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械手技术领域,尤其涉及一种可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统。背景技术机械手是扩散炉或PECVD设备上用于传送舟的一套机械传动结构,通过机械手可以实现舟在上下及前后方向各个位置上的传输。如图1所示,其中传输前后方向上依次设置有:安装于立柱4上的暂存架5、中间的升降通道8、推舟机构6的SIC桨,暂存架5用来摆放已工艺或待工艺的舟7,SIC桨用于将已工艺/待工艺的舟7从石英管内取出/送入;升降通道8是机械手上升及下降的运行区域,传输的上下位置为每管的SIC桨及各个暂存架位置...
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