技术编号：14193519
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学测量领域，具体涉及到一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法。背景技术高精密度平面光学元件在光学工程领域有着极为广泛的应用。为了实现这些元件的面形检测、三维形貌获取及光学均匀性测试，通常采用基于光干涉原理的高精度干涉仪设备以及相应的干涉条纹测量方法。基于傅里叶变换处理干涉条纹图像是目前常用的一种干涉测量方法，其可以从单幅干涉条纹图像中获取待测光学元件的相关信息，降低了干涉系统的复杂程度，同时可以有效克服外界振动带来的干扰，适用于各类动态光学测量场合。然而在实际使用该方法进行干涉测量时...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。