基于闪耀光栅的微小角度快速识别方法与流程技术资料下载

技术编号:14193524

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本发明属于传感领域,具体提出了一种基于闪耀光栅的微小角度快速识别方法。背景技术衍射光栅广泛应用于光谱学、无线电天文学、集成光学、光通讯、信息处理及精密计量等不同的领域。普通的衍射光栅各级光谱线的强度随级次的增加而减小,特别是无色散的零级占了大部分的光能量,而实际使用的非零级光谱的强度却比较弱。闪耀光栅通过将刻槽面与光栅面形成角度即所谓的闪耀角,从而使单个刻槽面衍射衍射的中央主极大和诸槽面间干涉零级主极大分开,将光能量从干涉零级主极大,即零级光谱,转移并集中到某一级光谱上去。传统的角位移测量方法主...
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