技术编号:1419659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学元件样品柜,具体地说是一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜。背景技术随着激光技术的不但发展,以准分子激光器、自由电子激光器以及全固态真空紫外激光器为代表的真空紫外激光光源相继出现。这些真空紫外激光光源在微电子器件制造、微机械加工、纳米材料处理和生物医学工程等领域都有着非常广阔的应用前景。真空紫外激光光源的快速发展以及其广泛的应用对高性能的真空紫外波段光学元件提出了迫切地需求。通常,采用物理气相沉积工艺制备的真空紫外波段全介质...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。