技术编号：14202948
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体元件、其制造方法及使用其的传感器。背景技术晶体管、存储器、电容器等半导体元件利用其半导体特性，已被用于显示器、计算机等各种电子设备中。例如，正在开发利用了场效应晶体管(以下称为FET)的电特性的IC标签、传感器。其中，从不需要利用荧光体等进行标记、电信号的转换快、容易与集成电路进行连接的观点考虑，使用FET来检测生物学反应的FET型生物传感器的研究正在活跃地进行。以往，使用了FET的生物传感器具有从MOS(金属-氧化物-半导体)型FET除去栅电极、并在绝缘膜上被覆离子感应膜而成的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。