检查样品表面的装置和方法与流程技术资料下载

技术编号:14203045

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本发明实施方式涉及样品表面的检查和成像。具体而言,本发明实施方式涉及样品表面的形貌和表面化学等性质的测定。背景技术纵观历史,显微技术领域的突破往往带来科学研究的突破性进展。例如,随着扫描隧道显微镜(STM),电子显微镜(EM)以及相关技术的发展,纳米技术已成为一种极有可能改变我们几十年前生活方式的新兴技术。第一台光学显微镜发明于400多年以前,它让我们看到了肉眼看不见的物体。直至今天,光学显微镜仍然是工业界和学术界最广泛使用的以下三类显微镜当中的一类:光学显微镜;电子显微镜(扫描电子显微镜(SE...
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