磁阻传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:14203096

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本公开总体上涉及磁阻传感器中的自由层偏置,更具体地涉及具有堆叠偏置层的磁性隧道结传感器的制造,其沿着与传感层的磁各向异性相同的方向提供传感层的正交偏置。背景技术基于薄膜多层堆叠的磁阻传感器,其利用巨磁阻效应或隧道磁阻效应,并且具有取决于参考铁磁层(RL)和传感铁磁层(SL)的磁矩之间的相对取向的电阻。参考铁磁层的磁矩通常通过与诸如铱锰(IrMn)或铂锰(PtMn)的反铁磁材料的界面交换耦合来确定。这种耦合限定了一个优选的参考方向,沿着该方向强钉扎所述参考层。在没有外场的情况下,传感器的阻抗相对于...
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