技术编号:14203505
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求2015年7月10日提交的美国临时申请No.62/191,272的优先权权益,通过引用将该文献全文并入本文。技术领域本申请涉及气体流量的控制,尤其是在需要精确测量的时候,例如,在半导体工艺当中。背景技术对于很多工业过程而言,计量气体的流速是很重要的。就半导体工业而言,计量必须尤其精确,因为只有百分之几的流速偏差也可能导致工艺失败。工业标准流量控制装置是质量流量控制器(MFC),其含有能够部分打开从而允许流量增加或者能够部分关闭从而允许流量降低的阀。阀的打开是由闭环反馈电路控制的,该电路...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。