技术编号:14211321
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光机电一体化的应用装置领域,具体涉及一种白光干涉三维形貌再现装置。背景技术获取物体表面形貌常常是通过接触物体表面,然后再现三维形貌,其缺点是会在物体表面留下划痕。采用光学干涉的方法也称为非接触方式,但是要实现白光干涉是相当困难的,常用的迈克尔孙干涉仪采用He-Ne激光器发出的632.8nm的红色激光可以测量微小距离的变化,由迈克尔孙干涉仪变化得到多种三维形貌仪已经面世。但是要观察较高质量的白光的干涉条纹,须调节迈克尔孙干涉仪的干涉臂至基本完全对称,才能实现两相干光的光程差要非常小,...
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