技术编号:14212035
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请案根据35U.S.C.§119主张阿卜杜拉赫曼·赛吉那(Abdurrahman Sezginer)等人在2015年9月4日申请的标题为“基于模型的CD测量(Model-Based CD Measurement)”的第62/214,472号先前美国临时申请案的优先权,所述申请案的全文出于所有目的以引用的方式并入本文中。技术领域本发明大体上涉及半导体计量,例如光罩计量。更特定来说,本发明涉及一种用于测量光罩上的特征的尺寸的方法。背景技术一般来说,半导体制造业涉及用于使用分层并图案化到例如硅的衬...
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