技术编号:14212049
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将半导体基板或玻璃基板等基板从载体向加工装置移载的基板移载装置。背景技术以往,已知有对作为半导体元件制造材料的半导体基板(以下,简称为“基板”)进行元件形成等加工处理的基板处理设备。一般而言,在基板处理设备设有加工处理装置、和与加工处理装置邻接配置的基板移载装置等。例如,专利文献1中记载的基板移载装置,具备:在内部形成搬送室的壳体;在壳体的前壁设置的多个装载端口;和在搬送室内设置的基板搬送机器人。基板搬送机器人具备机械臂、和与机械臂的手腕连结的机械手。该基板搬送机器人进行对加工处理...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。