技术编号:14225580
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多线切割机设备技术领域,具体涉及一种多线切割机用导轮。背景技术多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。在半导体切割装置技术领域中,多线切割机技术作为一种比较先进的硅片加工技术,被当前绝大多数硅片生产厂家所采用。作为多线切割机的核心部件,导轮结构对切割硅片的精度和质量起着至关重要的作用,其包括导轮本体,位于导轮本体外...
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