技术编号:1422716
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。发明的领域本发明涉及一种清洁用的海绵辊,它能在不损害待清洁物体表面的情况下,极有效地擦洗掉细小的颗粒,如磨料颗粒,切削粉尘,在加工过程如在制造磁性记录用的铝盘、半导体硅片的基片及诸如此类过程中的抛光之后粘附到待清洁物体的表面上的抛光粉尘等。 背景技术 在生产硬盘,玻璃盘(glass disks),硅晶片,CMP工艺中的半导体器件,光掩模,液态玻璃基片等的过程中,高精度的打磨,即所谓的抛光是用各种不同的磨料颗粒,如氧化硅,氧化铝或氧化铈进行,以便极准确地抛光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。