技术编号:1422778
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在一兆赫兹左右的频率范围中产生声音能量的换能器,更具体的,涉及一种传输均匀数量的声音能量给旋转的圆形物体表面的装置。背景技术 众所周知,可以将频率范围在0.4到2.0兆赫兹(MHz)的声波传输入液体中,并常常用其从损坏的敏感基材中清洁某些特定的物质。由于该频率范围主要位于兆赫兹范围附近,清洁步骤通常指的是兆赫超声波清洁。可由这一工艺进行清洁的元件当中包括在半导体装置生产过程的不同阶段产生的半导体晶片,磁盘驱动介质,包括硬盘和光盘、平板显示器和其它...
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