技术编号：14233707
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及级联薄膜光学器件领域，尤其涉及一种级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法。背景技术级联薄膜光学器件由多层不同特性的膜薄构成，可以实现不同波长、不同偏振态、不同能量比的分束、合束功能，被越来越多的应用于投影显示、激光等现代光电系统中。但是，由于其结构复杂、加工工艺繁琐，且现有的制作级联薄膜的方法所制作的级联薄膜难以满足要求，存在级联薄膜的角度精度低、胶层均匀性差等不足，使得分束、合束角度精度差、波前不均匀，甚至在激光应用中存在鬼像损坏的问题。发明内容为了解决上述现有制作级联薄膜光学...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。