技术编号：14238968
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种压力传感器弹性体，尤其涉及一种方便光刻工艺定位的带定位台的压力传感器弹性体。背景技术溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好以及测量介质温度高等优点，在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药等许多领域得到应用。但溅射薄膜压力传感器的敏感芯体(敏感芯体是由弹性体经研磨抛光、镀膜、光刻等工艺制造出来的)制造工艺繁杂，且生产效率不高，其中最困难的一个工艺是弹性体的光刻工艺，主要表现在进行光刻工艺时，由于图形需要进行二次光刻，这就存在套刻的问...
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