技术编号：14242415
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示器制造领域，尤其涉及一种溅射机上的基板的夹紧装置。背景技术溅射机广泛运用于显示器面板的镀膜制程中，例如OLED阴极镀膜，TP消影层等等。很多镀膜制程都不需要整个基板成膜，只是在特定位置沉积特定形状的膜层即可。这就要求基板一方面在镀膜时与金属掩膜板紧密对位，另一方面在对位完成后要保持基板和金属掩膜板的相对位置，在整个成膜过程中不能发生变化。因此基板夹具装置在整个溅射机中显得尤为重要。当前的溅射机基板夹具，通常装在基板的长边位置，对位完成后基板下降到成膜位置，使用长边的两个或者四个夹具...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。