技术编号：14245491
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种无源加热式微型气动泵，特别是一种基于频率选择的无源加热式微型气动泵。背景技术由于精密度高，易于控制等优点，基于MEMS工艺的制作的微型泵已被实验验证并广泛投入到了生物医学和微流体控制领域。根据当前的技术，微型泵主要采用压电式，电磁式和热气式的工作原理，其中利用热气驱动的微型泵具有低压供电，控制精准等优势得到了大量的研究和开发。该微型泵利用加热区域的温度差异，通过对气体的加热和冷却来引起驱动薄膜的偏转运动实现操作，止回阀门被用来耦合通道内部的液体流向，往往需要多个驱动器同时安装在一起...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。