技术编号:1424615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种自动清洗工艺系统,更具体地涉及一种OLED玻璃基片清洗系统。背景技术随着各种半导体产品的广泛应用及半导体技术的发展,半导体产品的批量生产规模越来越大。同时半导体产品的尺寸也越来越大,导致半导体工艺日趋复杂。而产品的生产不仅要求高精度,也要求高效率及高自动化,因此,对生产半导体产品的生产系统和生产工艺也提出了更高的要求。对于半导体制品,例如有机发光显示器件、液晶显示器件、非晶硅太阳能电池板等,其生产都需要利用玻璃等作为基片,在基片上进行多种...
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