技术编号:14247203
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测量测量对象的表面形状的形状测量装置。背景技术干涉类型的形状测量装置用来测量测量对象表面形状。在JP-A-2013-83649中描述的相干扫描干涉仪中,从光源产生的光被分为照射在物体上的测量光和照射在参考反光镜上的参考光。由物体反射的测量光和由参考反光镜反射的参考光叠加并由照相机检测。在包括光源和照相机在内的光学系统相对于物体移动的状态下,由照相机获取图像。基于所获取的图像中的干涉条纹的间隔来计算物体的表面高度。发明内容期望形状测量装置在宽的测量范围内、高速地测量测量对象的表面形状...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。