技术编号：14247207
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学精密测量技术领域，可用于高反射表面三维形貌的高精度测量。背景技术高精度三维面形测量技术在精密仪器制造、精密光学加工和产品检测等领域具有重要作用。测量和评价精密加工器件的表面形貌，对于研究精密器件的表面几何特性与使用性能的关系，提高加工质量和产品性能都具有重要意义。随着应用需求的不断增加和深入，镜面和类镜面等高反射曲面器件作为系统关键部件在航空航天、汽车工业、通讯和微电子等领域的应用中受到了越来越密切的关注，其加工精度的高低直接决定了系统性能的好差。因此，迫切需要测量精度更高、测量速...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。