技术编号：14251423
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜沉积领域，尤其涉及一种防着板及其制备方法和应用。背景技术采用物理气相沉积(PVD)的方法溅镀薄膜时，镀膜材料除了会沉积在基板以外，还会沉积到反应腔的内壁上，造成镀膜设备部件损坏。为了防止此现象的发生，需要在反应腔的内壁覆盖防着板。因此在PVD镀膜过程中，防着板上形成的薄膜厚度也会增加，为了避免防着板上薄膜层的脱落，需要对防着板进行清洗，除去表面附着的薄膜层。目前，防着板上附着的薄膜层可以采用高压水刀冲洗或者化学试剂溶解清洗。但是高压水刀冲洗工艺需要配套的设备进行，花费较大，同时会对...
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