柔性电子装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14257395

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本发明涉及电子装置领域,且特别是有关于一种柔性电子装置。背景技术相较于一般硬质封装结构,柔性电子装置的应用更加广泛。为了让柔性电子装置具有较佳的阻隔水气及氧气之特性,已有技术提出具有阻气材料层的柔性电子装置,以期提升电子元件的可靠性(reliability)。一般而言,现有技术领域的阻气材料层可选用无机材料,例如以等离子辅助化学气相沉积(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)和\/或原子层沉积(Atomic Layer Depositio...
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