技术编号:14257906
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及复合基板、弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。背景技术近年来,为了改善弹性波装置的温度特性,使用在热膨胀系数小的支撑基板上粘合薄压电基板的复合基板。例如,专利文献1公开了一种复合基板,其具有通过由环氧粘着剂形成的粘着层将作为压电基板的LT基板(LT为钽酸锂的简称)与作为支撑基板的硅基板粘合在一起的结构。在使用这种复合基板制造弹性波装置时,存在如下问题。首先,由于复合基板随温度变化而产生较大的翘曲,故在经历各种工序温度的弹性波装置的制造过程中,存在图形的精度劣化,以及复合基板的自动操作变...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。