压力辊和使用其的压印方法与流程技术资料下载

技术编号:14263346

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示例性实施例涉及一种用于压印方法的压力辊和一种使用该压力辊的压印方法。更具体地,示例性实施例涉及用于使用印模形成树脂图案的压印方法的一种压力辊和一种使用该压力辊的压印方法。背景技术最近,已经研究了用于形成精细图案的纳米压印光刻的使用。例如,液晶显示设备可以包括线栅偏振器。在基板的金属层上形成树脂层,然后在树脂层上通过将印模压印到树脂层上来形成压印图案,然后通过将已压印的树脂层用作掩模使金属层图案化来将金属层图案化成线栅偏振器。然而,根据传统的压印方法,当基板的在其上形成树脂层并执行压印方法的上表...
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