技术编号:1426535
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,包括以下步骤将硅原料进行预冲洗,并在冲洗后对硅原料的表面进行检测;根据检测将表面无杂质的硅原料进行超声清洗后即可完成清洗,将表面有杂质但并不多的硅原料进行普通酸洗,将硅表面杂质很多的原料进行酸液泡洗;将经过酸液洗的硅原料进行冲洗,冲洗后对硅原料表面进行观察;根据观察将表面没有杂质残留的硅原料进行超声清洗后即可完成,将表面仍有杂质残留的硅原料进行碱洗;将经过碱洗的硅原料进行冲洗,之后再对硅原料进行超声清洗,超声清洗后即可完成。从上述工作过程可知...
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