一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法与流程技术资料下载

技术编号:14265839

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本发明涉及自动检测和识别的应用领域,具体涉及一种基于显微镜聚焦和失焦的实时鉴别超薄透明板(1微米-1厘米)上的微小灰尘、划痕等瑕疵,并能区分瑕疵位于板的上表面或下表面的检测方法。背景技术透明薄板渗透在人们生活、生产的方方面面。随着科学技术的发展,显示屏、眼镜、透明保护层等平板器件变得越来越轻薄,显示器件已经达到微米量级,这也带来了一些新的难以解决的问题。这些薄的透明板表面如果出现了灰尘、划痕和裂纹等瑕疵,会对器件和产品带来不可估量的影响。而对于非常薄的透明板,其表面如果出现了瑕疵信息,虽然很容易...
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