探针式电连接组件的制作方法技术资料下载

技术编号:14267055

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本发明关于一种探针式电连接组件,尤指一种能够应用于晶圆检测的探针卡或是半导体组件检测装置等各式检测治具中,提供电性连接功能的探针式电连接组件。背景技术目前应用于晶圆检测的探针卡或是半导体组件检测装置等各式检测治具中,提供电性连接功能的探针式电连接组件组成构造,以现有半导体组件检测治具型式的探针式电连接组件为例,如图15所示,该探针式电连接组件主要包含一板体60、多个探针70以及一探针盖板61,该板体60中形成多个探针孔,每一探针孔一端(上端或下端)形成小孔端,该多个探针70分别装设于该板体60的...
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