技术编号：14278737
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具备使分束器移动的机构的扫描型探针显微镜。背景技术以往利用扫描型探针显微镜作为检查试样的微细的表面形状的装置。在扫描型探针显微镜中，通过使探针相对于试样的表面相对移动来对试样的表面进行扫描，由此检测在该扫描过程中作用于探针与试样表面之间的物理量(隧道电流或原子间作用力等)的变化。而且，通过对探针的相对位置进行反馈控制以使扫描过程中的上述物理量保持固定，由此能够根据其反馈量测定试样的表面形状。作为这样的扫描型探针显微镜，利用了形成有用于确认试样和探针的位置的观察窗的装置。在该扫描型探...
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