技术编号：1430418
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及除尘装置。提供了能够以少的能量得到优异的除去效果的效率良好的除尘装置。工件(W)的被除尘面(Wa)配设于过渡区域(E)内，该过渡区域(E)形成在来自喷嘴部(1)的喷流(3)的势流核心区(5)的终端(50)的更下游侧。专利说明除尘装置[0001]本发明涉及除尘装置。背景技术[0002]一直以来，家庭用液晶电视或智能手机、平板终端等的LCD面板制造，为了提高合格品率，在净室内工序中，使从净化器头的喷嘴部吹出的喷流碰撞在塑料或玻璃等的基板表面，进行微粒...
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