技术编号:14304277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶体管制造领域,特别是涉及一种薄膜晶体管膜层、制造方法和装置。背景技术目前,在液晶显示、有机电致发光、触摸屏等领域的实际应用中,均需要使用到薄膜晶体管控制像素的开启和关闭,因此高性能、低成本的薄膜晶体管一直是众多研究者不断攀登的高峰。而薄膜晶体管的制造中电极层和绝缘层的图案化过程复杂,需要通过五次的光刻、刻蚀工艺制作完成。因此,提高膜层的图案化就能迅速的制备薄膜晶体管。传统的图案化过程包括:(1)在清洗干净的玻璃基板上溅射膜层;(2)旋涂光刻胶并进行前烘;(3)使用光刻设备和掩模板对光...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。